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激光清洗的分类和方法

2018/8/30

依据基底材料的特性、基底表面的精度、表面粗 糙度及微粒污染物的种类,可以将目前的激光清洗方法分成以下两大类。 

1)激光干式清洗法。激光直接照射在物体表面,污染微粒或表面吸收能量后,通过热扩散、光分解、气化等使微粒离开表面。

2)激光湿式清洗法。在欲清洗的材料表面喷上一些无污染的液体(主要是水,有时也采用酒精),然后用激光照射,液体介质吸收激光能量后,产生爆炸性汽化,把其周围的污染微粒推离材料表面。 此外还有人提出了所谓的激光复式清洗法。激光能量被基底材料吸收,然后通过热对流,把吸附的中间介质加热,中间介质产生爆炸性汽化,在高气流的推动下,微粒随同中间介质一起脱开基底表面。